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SDG001、SDG002型 高純水電導(dǎo)率儀

 

SDG001、SDG002型 高純水電導(dǎo)率儀

 

應(yīng)用領(lǐng)域

SDG型系列高純水電導(dǎo)率儀,,用于測(cè)量高純水電導(dǎo)率,,其測(cè)量純水可以達(dá)到nS/cm級(jí),測(cè)量精確,、準(zhǔn)確,、穩(wěn)定。

高純水主要應(yīng)用于電子和微電子工業(yè)上,,也用于食品,、造紙、醫(yī)藥等行業(yè),。半導(dǎo)體器件由單電路到集成電路到超高集成電路,,其用水的水質(zhì)要求就越來(lái)越高。在半導(dǎo)體切片和研磨過(guò)程中,,須用高純水進(jìn)行清洗,。

 

品質(zhì)

VIOLET®智創(chuàng),更強(qiáng),、更好,、更精彩!

最大允許誤差:

      SDG001:±0.1%FS

      SDG002:±0.2%FS

    保障高精度測(cè)量,;

測(cè)量電導(dǎo)率,,可實(shí)時(shí)切換電阻率;

支持功能拓展,、擴(kuò)展,;

自動(dòng)溫度補(bǔ)償(可以選擇手動(dòng)補(bǔ)償)。

 

功能,、特點(diǎn)

六鍵操作,、光標(biāo)引導(dǎo),;

支持N點(diǎn)標(biāo)定(N=1~8),支持標(biāo)定設(shè)為理論值,;

VIOLET®智創(chuàng),,饜足一支電極全量程范圍應(yīng)用;

測(cè)量響應(yīng)靈敏,,平衡后“精,、準(zhǔn)、快”即時(shí)顯現(xiàn),;

數(shù)據(jù)采集、存儲(chǔ)符合GLP規(guī)范,。庫(kù)存數(shù)據(jù)可查詢,、轉(zhuǎn)移、刪除(單組),、清零(全部),,數(shù)據(jù)庫(kù)可無(wú)限保存采集數(shù)據(jù)(SD卡轉(zhuǎn)移輸出);

自動(dòng)溫度補(bǔ)償(可以選擇手動(dòng)補(bǔ)償),;

顯示屏背光可調(diào),;

操作菜單可選中文、英文,。

 

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)

SDG001

SDG002

儀器引用誤差級(jí)別

0.1級(jí)

0.2級(jí)

測(cè)量參數(shù)

電導(dǎo)率,、電阻率、溫度

測(cè)量范圍

電導(dǎo)率

0.00nS/cm~50.00μS/cm

電阻率

20.00KΩ·cm~1.000GΩ·cm

溫度

(-5.0~105.0)℃

分辨率

電導(dǎo)率

0.01nS/cm,、0.001μS/cm

電阻率

0.001(KΩ·cm,、MΩ·cm)

溫度

0.1℃

最大允許

誤差

電導(dǎo)率

±0.1%FS

±0.2%FS

電阻率

±0.2%FS

±0.5%FS

溫度

±0.2℃

重復(fù)性

≤0.1%FS

0.2%FS

電源

電源適配器(輸入AC:220V,50/60Hz,;輸出DC:12V,,50mA)

尺寸;重量

165×205×60(mm),;350(g)

 

高純水電導(dǎo)率

一般稱電導(dǎo)率小于0.1μS/cm的純水為高純水,。在工藝條件下制備的高純水,雜質(zhì)近乎為零,。高純水電導(dǎo)率(或電阻率)是水質(zhì)要求關(guān)健指標(biāo),。

高純水制備的典型工藝流程如下:源水→過(guò)濾→活性炭過(guò)濾器(或有機(jī)大孔樹(shù)脂吸附器)→反滲透器(或電滲析器)→陽(yáng)離子交換柱→陰離子交換柱→ 混合離子交換柱→有機(jī)物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過(guò)濾器→高純水。

制定高純水標(biāo)準(zhǔn)主要依據(jù):(1).微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求,;(2).制水工藝的發(fā)展水平,;(3).水中雜質(zhì)監(jiān)測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀等。目前,,在1 G(及以上)位超大規(guī)模集成電路制造中,,對(duì)高純水的技術(shù)要求很嚴(yán),。

電極常數(shù)標(biāo)定:用標(biāo)準(zhǔn)純水(已知電導(dǎo)率值)作為標(biāo)定溶液,標(biāo)定電極常數(shù),。標(biāo)定前用高純水把電極清洗干凈,,并用慮紙吸干水分,再用標(biāo)定純水適量沖洗,。

十分感謝高純水領(lǐng)域的工程師們?cè)跍y(cè)量應(yīng)用工藝方面的經(jīng)驗(yàn),、探索和創(chuàng)新。

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